本报记者 王镜茹

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5月19日，深圳中科飞测科技股份有限公司（简称“中科飞测”）正式登陆科创板。

中科飞测本次发行价23.60元/股，市盈率14.83倍。今日上市后，开盘大涨179.66%。

中科飞测主营检测和量测两大类集成电路专用设备，如无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备系列等，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线。

近年来，中科飞测发展迅速。招股书显示，2020年至2022年，公司营收2.38亿元、3.61亿元、5.09亿元，年均复合增长率为46.40%。其中，2022年公司检测设备收入占比75.53%，量测设备收入占比23.08%。

目前，中科飞测产品已广泛应用于中芯国际、士兰集科、长江存储、芯恩青岛、浙江创新等国内主流集成电路制造产线。

2020年至2022年，中科飞测设备销售数量从101台增至138台，平均销售价格从235.05万元/台增至363.86万元/台。

产品量价齐升得益于公司强大的研发实力。招股书显示，2022年公司研发费用为2.06亿元，占营业收入比例为40.40%，是自2020年以来的最高值。

东亚前海证券分析师彭琦认为，中科飞测目前的业务规模、制程工艺先进性及产品线覆盖广度较海外企业仍有一定差距，但与国内企业相比，当前公司业务规模、客户接受度还是遥遥领先。

据国内主流厂商招投标结果，2021年公开招标前道检测及量测设备185台，中科飞测中标设备14台，而国内主要竞争对手中标设备仅1台。

本次IPO，中科飞测拟募资10亿元，投入高端半导体质量控制设备产业化项目、研发中心升级建设项目及补充流动资金。业内认为，项目实施将有利于公司进一步扩大业务规模、巩固市场地位，提升研发实力、增强核心竞争力。

添翼数字经济智库高级专家吴英婉告诉《证券日报》记者：“国内半导体市场正处于高速增长期，本土企业存在较大的国产化空间。在我国半导体量测检测设备国产化率相对较低的情况下，中科飞测作为国内半导体设备行业领军企业之一，在中国大陆半导体检测和量测设备市场具有相对竞争优势。”

中科飞测相关负责人亦表示，未来三年公司将依托资本市场，以提供优秀性能和较高性价比的高端半导体质量控制设备为目标，以推动我国检测和量测设备国产化为己任，为我国半导体产业生态体系的完善和国产半导体设备从弱到强的转变贡献力量。

（编辑 孙倩）