本报记者 施露

12月22日晚间，万业企业发布公告，公司携手宁波芯恩成立长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司（以下简称“嘉芯半导体”），以20亿元总投资规模，重点打造国内集成电路设备龙头企业，形成“1+N”产品平台模式，多方位布局半导体核心设备赛道。

据公告显示，嘉芯半导体成立于2021年4月，万业企业持股占比80%为其第一大股东，宁波芯恩持股占比20%。2021年12月22日，嘉芯半导体与嘉善县西塘镇人民政府签订项目投资协议书和补充协议。项目未来将形成年产2450台/套新设备和50台/套半导体翻新装备研发及制造基地，用地面积109亩，投资总额达20亿元，万业企业作为控股股东出资不超过8亿元。

目前，全球半导体市场芯片供应紧缩、芯片需求爆发，销售额连续17个月同比正增长，晶圆厂商纷纷加大资本开支进行扩产。2020年中国大陆半导体设备销售额达187亿美元，全球占比约30%。据集微咨询数据，目前大陆地区晶圆厂现有产能折合8寸约162万片/月，总规划产能折合8寸为462万片/月，潜在扩产产能折合8寸达到300万片/月。

根据《中国制造2025》的规划，2025年半导体核心基础零部件、关键基础材料应实现70%的自主保障。而万业企业以原有离子注入机业务叠加嘉芯半导体打造“1+N”模式，可进一步增厚设备技术护城河，筑基多产品设备龙头地位。

嘉芯半导体致力于开拓国内半导体设备领域市场，未来将形成以刻蚀设备、薄膜沉积设备、快速热处理及退火设备、清洗设备尾气处理设备等为主的研发制造及再制造能力，实现半导体关键设备的自主可控。

此外，嘉芯半导体第二大股东为宁波芯恩，持股占比20%。据企查查显示，宁波芯恩的主要股东为“华人半导体教父”中芯国际创始人张汝京博士，张博士是全球知名半导体集成电路产业著名的技术与运营管理专家，拥有40+年的半导体集成电路微纳工程制造技术、材料、装备等领域的研发和产业化经历。

本次成立的嘉芯半导体项目叠加其原有的凯世通离子注入机业务，万业企业打造的“1+N”全领域前道设备平台化效应进一步凸显，将成为目前国内设备品类最为齐全的集成电路龙头平台企业之一。

（编辑 白宝玉）