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本报记者 徐一鸣 见习记者 孙文青

4月28日晚，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）发布2023年一季报。今年一季度，公司实现营业收入12.23亿元，同比增长28.86%；实现归属于上市公司股东的净利润2.75亿元，同比增长134.98%。

中微公司表示，支撑公司业绩增长的主要原因为公司各半导体设备产品销量的增长。

报告期内，中微公司的刻蚀设备在国内外市场占有率不断提高。其中，在国际最先进的5nm芯片生产线及下一代更先进的生产线上，公司的CCP刻蚀设备实现了多次批量销售，已有超过200台反应台在生产线合格运转。另外公司的ICP刻蚀设备不断地核准更多刻蚀应用，迅速扩大市场并不断收到领先客户的批量订单。今年一季度，刻蚀设备收入为8.14亿元，较上年同期增长约13.94%，毛利率达到47.29%。

同时，报告期内，中微公司的MOCVD设备实现收入1.67亿元，较上年同期增长约300.48%，毛利率达到40.09%。

在披露一季报的同时，中微公司还公告称，拟受让国家集成电路产业投资基金股份有限公司持有的睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称“上海睿励”）6.7575%股权。

集成电路芯片生产设备包括光刻、刻蚀、薄膜、工艺检测、清洗、离子注入等诸多个细分种类。工艺检测设备是为芯片生产各工艺提供监测数据以确保各项工艺指标满足要求从而提高成品率的关键性设备。随着芯片工艺不断向更小节点发展，芯片生产过程中的所需检测的步骤和频次越来越高，对工艺检测设备的需求量随之增加。2022年，上海睿励实现的营收和净利润分别为7186.26万元和亏损2920.95万元。

中微公司称，此次对上海睿励的股权收购有利于进一步促进公司产业链延伸，有利于公司培育新的业务增长点，促进公司健康发展。

（编辑 上官梦露）