本报记者 张晓玉

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电子特种气体被誉为半导体行业的“粮食”和“血液”，是集成电路、显示面板等行业必需的支撑性材料。七一八所特气工程部（中船特气前身）针对集成电路刻蚀、清洗、成膜、离子注入等电子特种气体以及光刻机用激光气体开展深度研发…经过二十多年的发展，公司电解氟化技术打破了国外技术垄断，填补了国内空白，实现了电子特种气体“中国制造”。

4月21日，伴随着上交所锣声的响起，中船特气成功登陆科创板，成为中国船舶集团旗下首家科创板企业。

在上市敲锣现场，中船特气董事长宫志刚接受了《证券日报》记者独家专访。

三氟化氮国内占有率第一

年产能达9250吨

中船特气主要从事电子特种气体三氟化氮及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售。

在国内，中船特气、南大光电、昊华科技是三氟化氮主要生产厂家。根据集成电路材料产业技术创新联盟调研数据，最近三年中船特气在电子特种气体的市场占有率分别为16.32%、15.98%和18.51%，稳居国内第一。根据LinxConsulting数据统计，2021年，中船特气位列全球电子特种气体收入规模排名第9名，是唯一进入前十的国内电子特种气体供应商。此外，中船特气是国内首个进入5nm先进制程的电子特气供应商。

招股说明书显示，中船特气目前三氟化氮年产能达9250吨、六氟化钨年产能达2230吨、三氟甲磺酸年产能660吨。

从公司业绩表现来看，2019-2021年度，中船特气营业收入复合增长率约29.27%；净利润复合增长率34.72%。2022年实现营业收入19.56亿元，净利润3.83亿元，扣除非经常性损益后的净利润3.51亿元，较上年同期分别增长了12.90%、7.92%和8.90%。

此外，结合目前经营状况及未来发展情况，中船特气初步测算，预计公司2023年1-3月实现营业收入在4.51亿元-4.84亿元之间，同比变动5.51%至13.10%；预计期间实现净利润在9789.11万元至11862.50万元之间，同比变动15.75%至40.26%。

宫志刚对记者表示，“随着我国经济由高速增长阶段转向高质量发展阶段，高端制造业成为国家重点鼓励发展的方向，整体市场规模快速增长。5G、人工智能、云计算等新一代信息技术的发展大幅增加了芯片、显示面板等硬件的需求。近年来，国内晶圆厂处于密集扩产的周期，进而带动了相关的上游原材料需求强劲增长。报告期内公司的三氟化氮、六氟化钨等产品销售量持续快速增长。预计公司主营产品的市场需求还会进一步扩大，为公司提供了巨大的发展空间”。

借半导体东风

电子特气迎国产化机遇

近年来，随着全球半导体产业转移和我国集成电路制造产能规模的扩张，自主可控与国产替代趋势带动半导体材料需求提升。

据商业和技术资讯电子材料咨询机构《TECHCET》报告显示，2021年全球电子特气市场营收达63亿美元，预计2022年将再成长8%，到2026年年复合成长率高达9%。

然而随着下游市场的快速发展，作为市场容量最大的电子特气产品，三氟化氮需求加速或将面临短缺。从供需来看，公开数据显示，2018-2021年，全球三氟化氮产能复合增速达9.94%，市场需求复合增速为11.42%。

根据TECHCET报告，三氟化氮可能在未来几年可能将出现供应压力，因为预计需求将超过供给量。

面对未来市场的一片“蓝海”，中船特气拟借半导体东风，通过上市募资扩大生产规模。

公告显示，公司本次登陆科创板募资16亿元，将用于投入年产3250吨三氟化氮项目、年产500吨双（三氟甲磺酰）亚胺锂项目以及高纯电子气体等项目。

中船特气表示，本次募投项目建成后公司的产能规模将进一步提升，行业地位进一步巩固。未来，公司将积极优化产能布局，继续丰富产品种类，提高及时响应能力，满足客户多样化需求。

而对于上市后的规划，宫志刚坦言道，“一方面，借助资本市场进一步做大做强，成为电子特种气体的主导力量。同时，在条件成熟时，围绕核心业务，通过收购、兼并或合作生产的方式，快速扩充公司的研发能力、提高技术水平、扩大产业规模、完善客户结构，促进全球市场地位和国际影响力的进一步提高”。

主要电子特种气体“中国制造”

部分气体品种仍有技术壁垒

值得一提的是，尽管我国已经实现了主要电子特种气体“中国制造”，但部分气体品种仍有技术壁垒。

从品种数量来看，根据中国工业气体工业协会统计，目前集成电路生产用的特种气体，我国仅能生产约20%的品种，其余均依赖进口。目前我国国内企业所能批量生产的特种气体仍主要集中在集成电路的清洗、蚀刻、光刻等工艺环节，对掺杂、沉积等工艺的特种气体仅有少部分品种取得突破。

宫志刚对记者表示，“集成电路工艺流程环节较多，不同环节需要搭配使用特定的电子特种气体，各类电子特种气体总体数量超过100种，其中大部分品种尚未实现国产替代，即使部分气体用量较少，但也是集成电路生产中不可缺少的关键性材料。”

“国内电子特种气体企业整体发展时间较短，在产品种类、工艺水平、综合服务能力等方面依然与国际巨头有差距，而且这种差距很难在短期打破，需要一定时间的迭代试错。由于半导体产线上原材料微小的误差可能造成整条产线的损失，客户的试错成本很高，加大了国内企业进入新产品、新市场的难度。”宫志刚说道。

为了加快技术壁垒的突破，中船特气高度重视科技创新。2019年-2021年，公司研发投入金额分别为5205.73万元、8767.19万元、12412.23万元，占营业收入的比例分别为5.02%、7.18%、7.16%。

据宫志刚介绍，目前公司主要产品的生产工艺均为自主研发，并且经过长期对生产装备和工艺参数的技术改进，以及新工艺、新路线的发明应用，公司电解氟化技术打破了国外长期以来的技术封锁，使得我国成为继美国、日本、韩国之后第四个掌握该等技术的国家，填补了国内空白。

“目前公司正在开展乙硅烷、三氟化氯等气体的研发工作，致力于实现电子特种气体自主可控的目标，并且更深度地参与半导体工艺的配套研发。”宫志刚透露道。

（编辑 何帆 孙倩）