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本报记者 施露

7月14日晚间，万业企业披露2022年半年度业绩预告，2022年1-6月，公司及控股子公司累计新增集成电路设备订单超7.5亿元，集成电路专用设备制造业务收入较上年同期增加约150%，主要受益于中国本土集成电路晶圆厂加速扩产，旗下低能大束流离子及高能注入机顺利完成客户交付，多家客户新签设备采购订单等因素影响。

现阶段，万业企业正向集成电路前道设备领域加速部署。公司控股子公司凯世通在2022年度第一季度获得重要客户多台12英寸集成电路设备的批量订单，包含低能大束流离子注入机、低能大束流超低温离子注入机。今年4月下旬，凯世通进入上海市经信委首批复工复产白名单，向客户顺利交付了批量订单中的首批多套大束流离子注入机，后续将按期交付节奏稳定出货。2021年至今，凯世通研发的4种不同型号的离子注入机设备已相继在客户端成功取得验证及验收，包括低能大束流离子注入机、低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机以及高能离子注入机。当前，公司与核心部件供应商已建立良好的合作关系，拥有稳定的供应商体系，在国内离子注入行业领域内拥有领先地位。

从经营状况看，公司正处于产能爬坡阶段，公司另一控股子公司嘉芯半导体主要将覆盖刻蚀机、快速热处理/褪火、薄膜沉积、单片清洗机、槽式清洗机、尾气处理、机械手臂等领域，布局12寸及8寸等主流设备市场。目前嘉芯半导体的109亩研发制造基地正在建造中，届时产能释放后，持续推动公司“1+N”集成电路设备平台的高质量发展。

据了解，目前本土晶圆厂持续扩产，带动国内半导体设备需求持续旺盛，行业处于上升通道。未来，万业企业将通过积极拓展市场开发客户，推进设备在多种工艺及制程节点的应用，驱动集成电路业务迎来高速发展。

（编辑 李波）